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AES study on the interface diffusion and reaction between Cr layer and Si3N4/Si substrate
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Surface and Interface Analysis |
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Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Surface and Interface Analysis, 33, 2002, 6, S. 496-499 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Wiley
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Schlagwörter: |