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Thermal stability of nitrided high-k dielectrics
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | physica status solidi (a) |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , , , |
In: | physica status solidi (a), 201, 2004, 5, S. 870-880 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Wiley
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Schlagwörter: |