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Nanometer‐Schichten in Silizium
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Physik in unserer Zeit |
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Personen und Körperschaften: | , , |
In: | Physik in unserer Zeit, 21, 1990, 6, S. 245-251 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Wiley
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Schlagwörter: |