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Electromagnetic silicon MEMS resonator
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Electrical Engineering in Japan |
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Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Electrical Engineering in Japan, 206, 2019, 2, S. 54-60 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Wiley
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Schlagwörter: |