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Effect of Ion Beam Mixing and Compound Formation on Sputter Depth Profile of a Ta/Si Multilayer Thin Film
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Surface and Interface Analysis |
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Personen und Körperschaften: | |
In: | Surface and Interface Analysis, 24, 1996, 6, S. 416-418 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Wiley
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Schlagwörter: |