Eintrag weiter verarbeiten
Automated and inexpensive method to manufacture solid- state nanopores and micropores in robust silicon wafers
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of Physics: Conference Series |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , , |
In: | Journal of Physics: Conference Series, 687, 2016, S. 012029 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
IOP Publishing
|
Schlagwörter: |