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Fast EEDF probe measurement in surface wave discharges using a DC coupled stepped signal
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Plasma Sources Science and Technology |
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Personen und Körperschaften: | |
In: | Plasma Sources Science and Technology, 4, 1995, 1, S. 86-93 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
IOP Publishing
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Schlagwörter: |