Eintrag weiter verarbeiten
Determining mean and gradient residual stresses in thin films using micromachined cantilevers
Uloženo v:
Název časopisu: | Journal of Micromechanics and Microengineering |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , |
In: | Journal of Micromechanics and Microengineering, 6, 1996, 3, s. 301-309 |
Formát: | Článek |
Jazyk: | Neurčité |
vydáno v: |
IOP Publishing
|
Předměty: |