Eintrag weiter verarbeiten
A preliminary study of the formation of WSi2by high-current W ion implantation
Zapisane w:
Tytuł czasopisma: | Journal of Physics: Condensed Matter |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Journal of Physics: Condensed Matter, 5, 1993, 31, S. 5505-5512 |
Format: | E-Article |
Język: | Unbestimmt |
Wydane: |
IOP Publishing
|
Hasła przedmiotowe: |