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Advanced comparator method for measuring ultra-small aperture areas
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Measurement Science and Technology |
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Personen und Körperschaften: | |
In: | Measurement Science and Technology, 12, 2001, 10, S. 1678-1682 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
IOP Publishing
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Schlagwörter: |