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An improved method for the calculation of the thickness and the optical constants of a thin film by ellipsometry
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of Physics D: Applied Physics |
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Personen und Körperschaften: | |
In: | Journal of Physics D: Applied Physics, 5, 1972, 6, S. 1160-1163 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
IOP Publishing
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Schlagwörter: |