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CH2Cl2thin film formation on low-pressure DC plasma discharge
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Radiation Effects and Defects in Solids |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , |
In: | Radiation Effects and Defects in Solids, 167, 2012, 8, S. 583-593 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Informa UK Limited
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Schlagwörter: |