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Production and beam annealing of damagein carbon implanted silicon. II
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Radiation Effects |
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Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Radiation Effects, 36, 1978, 1-2, S. 41-48 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Informa UK Limited
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Schlagwörter: |