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Photon-controlled oxidation of silicon
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Applied Physics Letters |
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Personen und Körperschaften: | , |
In: | Applied Physics Letters, 51, 1987, 15, S. 1149-1151 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
AIP Publishing
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Schlagwörter: |