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Stability of zirconium silicate films on Si under vacuum and O2 annealing
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Applied Physics Letters |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , , , |
In: | Applied Physics Letters, 78, 2001, 17, S. 2446-2448 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
AIP Publishing
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Schlagwörter: |