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Application of convergent beam electron diffraction to two-dimensional strain mapping in silicon devices
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Applied Physics Letters |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , , , |
In: | Applied Physics Letters, 82, 2003, 13, S. 2172-2174 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
AIP Publishing
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Schlagwörter: |