Eintrag weiter verarbeiten
Discrete-path transport theory of physical sputtering
Uloženo v:
Název časopisu: | Journal of Applied Physics |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , |
In: | Journal of Applied Physics, 92, 2002, 3, s. 1699-1708 |
Formát: | Článek |
Jazyk: | angličtina |
vydáno v: |
AIP Publishing
|
Předměty: |