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Thermal stability and diffusion in gadolinium silicate gate dielectric films
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Applied Physics Letters |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , , , |
In: | Applied Physics Letters, 79, 2001, 16, S. 2618-2620 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
AIP Publishing
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Schlagwörter: |