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Composition, atomic transport, and chemical stability of ZrAlxOy ultrathin films deposited on Si(001)
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Applied Physics Letters |
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Personen und Körperschaften: | , , , , |
In: | Applied Physics Letters, 79, 2001, 13, S. 1998-2000 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
AIP Publishing
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Schlagwörter: |